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极紫外光(EUV)和软X射线(SXR)由于具有纳米级波长,天然适用于纳米光子学应用。本报告将描述明亮台面EUV/SXR激光方面的研究进展,以及EUV/SXR在超高解析度成像、化学成像、高容错纳米刻图法方面的应用,着重描述极紫外激光烧灼质谱分析法。此方法能在纳米级别空间解析度下以三维形式展示元素成分和分子组成,且灵敏度极高,为纳米层面的催化作用和纳米结构层面的化学异构性等研究带来了多种新的可能性。
【免费试听】 极紫外光波长下的纳米光子学
国际电气电子工程师学会光电子分会会长
科罗拉多州立大学杰出教授
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